中國科學院微電子研究所射頻電源(RFGenerator)課題組(http://www.rf-power.net)從1984年開始研發電子管射頻電源(13.56MHz)，1985年研制成功，獲得“六五”攻關榮譽證書以及“FD-2反應離子刻蝕機與超精細刻蝕研究”項目二等獎。

從2010年開始受到極大規模集成電路制造裝備與成套工藝專項（國家02重大專項）資金支持，研發晶體管射頻電源，2011年研發成功300W-3000W晶體管射頻電源(13.56MHz)，獲得第七屆國際發明展覽會銀獎與第七屆北京發明創新大賽金獎。

經過二十多年的發展完善，產品的性能不斷提高，規格齊全,年銷售電子管與晶體管射頻源占國內市場份額的70%以上。
目前射頻電源組分為三個部門：產品研發部，產品生產部，產品推廣與售后服務部。

產品研發部：有專業研發人員7人，其中碩士及以上比例100%，具有教授級職稱2人，具有博士學歷3人，從清華大學，中科院電工所，中國科學技術大學引進資深射頻技術與自動控制專家3人，目前已建立起一支由高級研發顧問領導的國際化研發人才團隊。

產品生產部：有專業技術工程師17人，具有500平方專業射頻電源生產與測試車間（可以進行ESD，EMC等測試），年生產能力達3000臺套。

產品推廣與售后服務部：有專業推廣銷售人員4人，專業售后服務人員2人，其中碩士及以上比例100%。

目前開發成熟的電子管與晶體管射頻電源產品有：300W、500W、1KW、1250W、1.5KW、2KW、3KW、5KW、6KW、8KW、10KW等多種規格以及不同功率的400KHz高頻電源及不同功率的穩流源與自動匹配器。

射頻電源廣泛應用于等離子體研究，集成電路工藝設備，太陽能光伏工業，LED制程，薄膜生長，感應加熱，醫療領域的消毒與理療，等離子清洗等領域。

產品現已售往北京、上海、杭州、蘇州、香港、南京、西安、成都、深圳等地的幾十所高校、科研單位及半導體設備廠等高技術公司，得到用戶的一致好評。